愛德華RV油封式真空旋葉泵基于超過 75 年的經(jīng)驗(yàn)和全新設(shè)計(jì)計(jì)劃以產(chǎn)生小型油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵的極限范圍。RV3/RV5/RV8/RV12這些堅(jiān)固耐用的真空泵提供卓越的極限性能，同時(shí)擁有良好的抽取速度以及出色的蒸汽處理能力，而且運(yùn)行安靜。Edwards RV 系列
Edwards 的堅(jiān)固耐用型真空泵系列提供卓越的極限性能，同時(shí)擁有良好的抽取速度。RV不僅運(yùn)轉(zhuǎn)安靜，而且有優(yōu)異的蒸汽處理能力。
高蒸汽處理能力：更快的制程
出色的微粒處理能力：高可靠性
快動(dòng)式可靠入口閥可實(shí)現(xiàn)防反吸保護(hù)：安全制程和系統(tǒng)
模式選擇器和雙位氣鎮(zhèn)：經(jīng)過專門配置以滿足您的真空需求
針對(duì)便于維護(hù)而設(shè)計(jì)：無計(jì)劃外停機(jī)
運(yùn)轉(zhuǎn)安靜：工作環(huán)境更好
適合“濕式”應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)：
任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的高蒸汽泵送能力
獨(dú)特的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤滑
任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的高氣鎮(zhèn)流量提供 220g/hr（在 RV12 上為 290g/hr）的水蒸汽處理能力
配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)
對(duì)于溶劑/蒸汽與氟橡膠 (FKM) 密封不兼容的應(yīng)用，提供腈 (Buna-N) 轉(zhuǎn)換套件。另外，泵送大量氧化劑時(shí)，可以訂購備有 PFPE 的泵。
適合“多塵”應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)
一流的防反吸保護(hù)可避免灰塵回流到制程中
通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動(dòng)
在泵由于傾泄閥而停止運(yùn)行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉
大直徑油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些競爭對(duì)手的泵的油路直徑不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半導(dǎo)體行業(yè)的 PVD 和 CVD 應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)而設(shè)計(jì)，適用于多塵應(yīng)用。
適合清潔/干燥應(yīng)用的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)
獨(dú)特的模式選擇器開關(guān)意味著泵可在高流速下保持潤滑
配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內(nèi)
一流的防反吸保護(hù)可避免油霧回流到制程中
通過油壓來控制打開狀態(tài)，從而消除壓力波動(dòng)
在泵由于傾泄閥而停止運(yùn)行的 0.4 秒內(nèi)快速關(guān)閉
獲得專利的模式選擇器意味著該泵在高真空應(yīng)用和高吞吐量應(yīng)用中都適用。對(duì)于后一種應(yīng)用，可以安裝一個(gè)可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而不會(huì)將所有油排到排氣管中。
適合泵送氧化劑的 Edwards RV 泵的主要優(yōu)點(diǎn)：
任何旋轉(zhuǎn)式葉片泵的高氣鎮(zhèn)流量
允許稀釋泵送的氣體以便大限度地減少油的氧化
提供 PFPE 選配型
適合泵送氧氣和鹵代化合物
RV 泵的高氣鎮(zhèn)允許更高的氧氣流量，同時(shí)保持稀釋到爆炸下限以下。在與可選的油回收套件配合使用時(shí)可防止氣鎮(zhèn)將所有油吹入到廢氣，與備有 PFPE 的泵配合使用時(shí)可避免油被氧化，RV 泵是適合泵送氧氣的可靠泵。同樣，這些特性使得 RV 泵適用于泵送其他氧化劑，如鹵素和鹵代化合物。對(duì)于這些化合物，著火/爆炸不是問題，但氣鎮(zhèn)仍可用于稀釋以保護(hù)油和軸承。應(yīng)使用 PFPE 以延長油的壽命。
