愛德華羅茨泵基本概述：

 

　　以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的真空泵，可用于壓力范圍為0.01至10mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

 

　　愛德華羅茨泵功能和優(yōu)勢：

 

　　1、適用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。

 

　　2、它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

 

　　3、泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

 

　　4、安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。

 

　　5、牢靠且防腐蝕。

 

　　6、先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

 

　　7、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。

 

　　8、經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降低。

 

　　9、軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

 

　　10、動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

 

　　愛德華羅茨泵應(yīng)用：

 

　　半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2激光等等。